技術簡介
1. NANOSPEC (光學薄膜測厚儀 ):非接觸,非破壞方式量測,無須樣品的前處理,反射光譜400nm~800nm,解析度5A 。
2. TDS(熱脫附常壓游離質譜儀):常壓下操作,偵測分子量範圍10~200。
Abstract
none
技術規格
none
Technical Specification
none
技術特色
1. 屬於非接觸,非破壞方式量測,無須樣品的前處理。
2. 可在常壓下操作。
應用範圍
可應用於半導體、 LCD製造業等材質表面清洗效率驗證分析。
接受技術者具備基礎建議(設備)
具備電子級清洗製程機台之設備業者為佳。
接受技術者具備基礎建議(專業)
具備電子級清洗製程機台之設備業者為佳。
聯絡資訊
聯絡人:徐靜怡 水科技與環境分析技術組
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