工業技術研究院

技術簡介

1. NANOSPEC (光學薄膜測厚儀 )：非接觸，非破壞方式量測，無須樣品的前處理，反射光譜400nm～800nm，解析度5A 。 2. TDS(熱脫附常壓游離質譜儀)：常壓下操作，偵測分子量範圍10~200。

Abstract

none

技術規格

none

Technical Specification

none

技術特色

1. 屬於非接觸，非破壞方式量測，無須樣品的前處理。 2. 可在常壓下操作。

應用範圍

可應用於半導體、 LCD製造業等材質表面清洗效率驗證分析。

接受技術者具備基礎建議（設備）

具備電子級清洗製程機台之設備業者為佳。

接受技術者具備基礎建議（專業）

具備電子級清洗製程機台之設備業者為佳。

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