工業技術研究院

技術簡介

本技術研發之系統突破傳統流程設計，後段淨水流程改良為可調式，使系統處理效能提升，另外，本技術研發、改良3套微量離子去除系統，包含RO逆滲透去離子系統、離子交換樹脂去離子系統及UV/連續式電解去離子系統，使系統更能有效去除超純水中之微量離子。

Abstract

none

技術規格

產水水質規格為TOC ≦ 0.5 ppb，SiO2 ≦ 0.5 ppb，Particle ≦ 1 counts/ml，Bacteria < 1 cfu/ml，Ion < 10 ppt.

Technical Specification

none

技術特色

‧本技術已完成奈米用水製造系統之微量離子去除系統，系統包含RO逆滲透去離子系統、離子交換樹脂去離子系統及UV/連續式電解去離子系統。 ‧本技術研發之系統突破傳統流程設計，後段淨水流程改良為可調式，使系統處理效能提升。 ‧本研究建立奈米用水系統之產水達水質規格為TOC ≦ 0.5 ppb，SiO2 ≦ 0.5 ppb，Particle ≦ 1 counts/ml，Bacteria < 1 cfu/ml，Ion < 10 ppt。

應用範圍

超純水製造系統水質及流程改善、微量離子去除技術與去離子系統改良。

接受技術者具備基礎建議（設備）

水質分析儀器等。

接受技術者具備基礎建議（專業）

具超純水操作、施工及設計之基礎觀念與能力為佳。

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