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工業技術研究院

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技術名稱: 奈米用水製造系統微量離子去除技術

技術簡介

本技術研發之系統突破傳統流程設計,後段淨水流程改良為可調式,使系統處理效能提升,另外,本技術研發、改良3套微量離子去除系統,包含RO逆滲透去離子系統、離子交換樹脂去離子系統及UV/連續式電解去離子系統,使系統更能有效去除超純水中之微量離子。

Abstract

none

技術規格

產水水質規格為TOC ≦ 0.5 ppb,SiO2 ≦ 0.5 ppb,Particle ≦ 1 counts/ml,Bacteria < 1 cfu/ml,Ion < 10 ppt.

Technical Specification

none

技術特色

‧本技術已完成奈米用水製造系統之微量離子去除系統,系統包含RO逆滲透去離子系統、離子交換樹脂去離子系統及UV/連續式電解去離子系統。 ‧本技術研發之系統突破傳統流程設計,後段淨水流程改良為可調式,使系統處理效能提升。 ‧本研究建立奈米用水系統之產水達水質規格為TOC ≦ 0.5 ppb,SiO2 ≦ 0.5 ppb,Particle ≦ 1 counts/ml,Bacteria < 1 cfu/ml,Ion < 10 ppt。

應用範圍

超純水製造系統水質及流程改善、微量離子去除技術與去離子系統改良。

接受技術者具備基礎建議(設備)

水質分析儀器等。

接受技術者具備基礎建議(專業)

具超純水操作、施工及設計之基礎觀念與能力為佳。

技術分類 環境鑑識技術

聯絡資訊

聯絡人:陳建宏 水科技與環境分析技術組

電話:+886-3-5918568 或 Email:7chchen@itri.org.tw

客服專線:+886-800-45-8899

傳真:+886-3-5835338

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