技術簡介
運用濕式化學法,在玻璃基材之上進行多層金屬薄膜之沈積,可有效控制薄膜之厚度及均勻度。金屬種類可包含鎳、銅、銀等。
Abstract
Metal thin films could be deposited on glass by electroless method. The thickness and uniformity could be controlled precisely.
技術規格
金屬薄膜厚度可控制在數十奈米之間,也可厚達1微米以上,視應用狀況而定。金屬可以是鎳、銅、銀、金等。
Technical Specification
none
技術特色
目前國內具此類技術之團體鮮少,而本技術之發展,可以用於連續生產,也可採用批次生產,在TFT-LCD新製程發展上具相當之潛力。
應用範圍
TFT-LCD、明鏡工業
接受技術者具備基礎建議(設備)
無特殊 (具濕式製程設備者為佳)
接受技術者具備基礎建議(專業)
具濕式製程基礎專業為佳
聯絡資訊
聯絡人:李文錦 金屬材料研究組
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