工業技術研究院

技術簡介

運用濕式化學法，在玻璃基材之上進行多層金屬薄膜之沈積，可有效控制薄膜之厚度及均勻度。金屬種類可包含鎳、銅、銀等。

Abstract

Metal thin films could be deposited on glass by electroless method. The thickness and uniformity could be controlled precisely.

技術規格

金屬薄膜厚度可控制在數十奈米之間，也可厚達1微米以上，視應用狀況而定。金屬可以是鎳、銅、銀、金等。

Technical Specification

none

技術特色

目前國內具此類技術之團體鮮少，而本技術之發展，可以用於連續生產，也可採用批次生產，在TFT-LCD新製程發展上具相當之潛力。

應用範圍

TFT-LCD、明鏡工業

接受技術者具備基礎建議（設備）

無特殊 (具濕式製程設備者為佳)

接受技術者具備基礎建議（專業）

具濕式製程基礎專業為佳

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