工業技術研究院

技術簡介

隨奈米技術的的發展,製程環境的潔淨要求不再只滿足於微塵粒的控制。相對的製程環境中氣體分子污染物(AMC，Airborne Molecular Contamination)的控制成為影響製程良率的關鍵因素之一。由於科技的發展生活週遭充斥著逸散於空氣中的污染物，大樓病症候群出現的日益頻繁在健康發出警訊的當下，人們開始注意到平均每天有90％以上時間所處的室內空氣品質問題。為控制AMC，潔淨室會在MAU、RAU、FFU上或製程機台內部加裝化學濾網(或稱氣體濾網)；而一般建物則在空調箱或室內清淨裝置加裝氣體濾網，以有效控制並降低AMC濃度值。由於化學濾網本身之性能特性影響AMC控制的品質，其中吸附劑及濾網的設計非常重要。吸附劑為空氣潔淨技術的關鍵材料,可應用於一般建築IAQ及廠房製程環境潔淨技術上。本技術內容包含吸附劑性能測試分析系統的介紹，分析及彙整吸附劑對數十ppb至ppm濃度範圍VOCs的去除效率、容量及壓損測試結果，可以用來設計潔淨室用的化學濾網及一般空調使用的氣體濾網。

Abstract

These contaminants can be reduced and controlled by using chemical filter in make-up air unit, circulation air system, fan filter unit and mini-environment for cleanroom and IAQ applications. The performance of chemical filter usually has an effect on AMC control and its service life. The performance of adsorbent media is a key point. This study includes the media test rig which allows raw chemical medias to be evaluated under a wide range of conditions and the VOCs removal performance of several commercial adsorbent including pressure drop, initial removal efficiency and removal capacity.

技術規格

吸附劑性能測試系統介紹及VOCs吸附劑性能分析

Technical Specification

Introduction of adsorbent media test rig and evaluation of VOCs removement

技術特色

潔淨室及室內空氣品質AMC控制關鍵技術

應用範圍

潔淨室MAU、RAU、製程機台潔淨氣流控制、微環境系統、FFU、民生空氣淨化用途。

接受技術者具備基礎建議（設備）

應用行業包含舉凡使用到空氣潔淨產品及空調換氣的各行業及空調設備販售、空調系統設計規劃者。

接受技術者具備基礎建議（專業）

應用行業包含舉凡使用到空氣潔淨產品、空調換氣的各行業及空調設備販售、空調系統設計規劃者。

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