技術簡介
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Abstract
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技術規格
1.利用FEM結果計算電容變化之感測靈敏度
Test key與設計誤差≦±10%
靜態模擬誤差≦±10%
動態模擬誤差≦±10%
Technical Specification
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技術特色
建立電容式感測元件與感測電路schematic-based co-simulation設計平台，以縮短設計時間提升設計效率。
應用範圍
1.可應用於智慧感測元件之結構與讀取電路機電整合設計
接受技術者具備基礎建議（設備）
曝光機、蝕刻機、Coventorware、ANSYS
接受技術者具備基礎建議（專業）
半導體、材料、物理及電子等相關背景
聯絡資訊
聯絡人：陳國彰 微系統中心
電話：+886-6-3847136 或 Email：kerwin_c@itri.org.tw
客服專線：+886-800-45-8899
傳真：+886-6-3847294