技術簡介
應用高頻共振腔感應具有介電特性之材料之電性，可用於測試ITO、ZnO、FTO等透明導電之材料之電性，且經由自動化系統可以將樣品之表面電性分佈呈現，提供製程穩定性之參考數據
Abstract
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技術規格
表面電阻量測範圍10^-2 ~ 10^5 ohm，薄膜厚度＜100nm需鍍在高介電基板上，量測試片範圍6inch(Max)
Technical Specification
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技術特色
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應用範圍
ITO、AZO、FTO等透明導電薄膜之電性檢測
接受技術者具備基礎建議（設備）
網路分析儀
接受技術者具備基礎建議（專業）
材料、物理
聯絡資訊
聯絡人：陳炯雄 電子材料及元件研究組
電話：+886-3-5915185 或 Email：JanShinChen@itri.org.tw
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