技術簡介
本技術針對Excimer UV光源製作、檢測至應用技術。
Abstract
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技術規格
172nm EUV, long 1200mm light tube.
Technical Specification
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技術特色
利用172 EUV光源在顯示器產清潔設備應用
應用範圍
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接受技術者具備基礎建議（設備）
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接受技術者具備基礎建議（專業）
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聯絡資訊
聯絡人：魏碧玉 金屬材料研究組
電話：+886-3-5915219 或 Email：JasperWei@itri.org.tw
客服專線：+886-800-45-8899
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