工業技術研究院

技術簡介

建置光電半導體產業所使用之FTIR多點採樣氣體即時診斷系統，將只有定點分析能力的FTIR氣體分析儀，透過多點採樣的控制機構，能夠支援到跨越空間的多點採樣與分析模式。如此在有分隔牆的空間，可以同時監控不同空間中的污染程度。

Abstract

Develop the real-time multi-ports FTIR gas analyzer which is aimed to be used in the semiconductor industry.

技術規格

採樣點 : 8 - 40 點 偵測下限: 對於大多數氣體 1-10 ppm 單點可監測物種 : 最多可達20種 採樣速度 : 每15 秒 一點 可監測氣體種類 : 揮發有機性, PFC, CFC, HFC, NF3 與一些無機性氣體 具備自動定性定量功能

Technical Specification

Sampling points : 8 - 40 points Detection limit : ppm level for most of gases single point : Monitoring species for a up to 20 Sampling speed : 15 sec for a single point Gases monitored : Organic, PFC, CFC, HFC, NF3 and many other inorganic gases Automatic qualitative and quantitative function

技術特色

利用FTIR氣體分析儀可同時分析數百種氣體的能力，透過自動定性定量與多點採樣分配技術，同時監測10 - 40個不同空間點的氣體洩漏程度。

應用範圍

光電半導體場環境敏感點，閥件盒(VMB)與氣體櫃(Cabinet)毒害性氣體洩漏偵測

接受技術者具備基礎建議（設備）

FTIR紅外光譜儀，PLC控制設備

接受技術者具備基礎建議（專業）

FTIR氣體分析儀組裝能力，自動控制系統組裝能力

聯絡資訊