工業技術研究院

技術簡介

以微機電技術製作之石英微元件/音叉式/震盪器，達到晶向控制佳,開發腐蝕速率較快且成本低的製程技術。

Abstract

none

技術規格

雙面高精度對準 (對位誤差≦±5um),石英材料精密深蝕刻 (外型控制≦±5um)

Technical Specification

none

技術特色

製程穩定\晶圓級批次生產\大量製造\可搭配晶圓級測試及封裝\價格便宜

應用範圍

石英共振之元件, 可用於電波時鐘及DSC,PMP,Mobile Phone之產品中

接受技術者具備基礎建議（設備）

化學槽、塗佈機、曝光機、顯影機‘.

接受技術者具備基礎建議（專業）

材料、化工、機械

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