技術簡介
建立熱電元件之製程技術；包括熱電薄膜材料配方配製以及微型熱電薄膜致冷元件製作
Abstract
none
技術規格
熱電單位邊長(leg): 100- 500μm, 3mm×3mm~ 5 mm×5 mm element之熱電薄膜元件，並達成元件致冷密度?12W/cm2
Technical Specification
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技術特色
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應用範圍
半導體及微機電元件產品
接受技術者具備基礎建議（設備）
廠商具有真空濺鍍製程等設備
接受技術者具備基礎建議（專業）
薄膜材料開發及物理化工相關背景人才
聯絡資訊
聯絡人：呂明生 金屬材料研究組
電話：+886-3-5915214 或 Email：menson@itri.org.tw
客服專線：+886-800-45-8899
傳真：none