工業技術研究院

技術簡介

本計畫目標在於發展高時效性、超高空間與能量解析電子損失能譜，以提供研究組樣品化學定量組成及進行分子鍵結分析，加速研究及先進檢測之能量。

Abstract

This technique highlights the achievements in analytic TEM, focusing on high throughput elemental analysis in atomic scale using high energy resolution electron energy loss spectrum (EELS).

技術規格

高時效電子損失能譜分析能力≧300 sps; 能量解析能力?0.4 eV。

Technical Specification

high speed EELS spectrums≧300 sps; energy resolution ?0.4 eV.

技術特色

技術為所有化學檢測分析中最高空間解析之檢測方法，並可提供樣品化學鍵結組成、分子軌域分布，及提供樣品性質顯像等高階檢測能力。

應用範圍

高階IC元件檢測，機能性軟物質商品

接受技術者具備基礎建議（設備）

電子顯微鏡基礎原理與相關操作經驗

接受技術者具備基礎建議（專業）

材料、物理、工科相關科系

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