技術簡介
於FIB/SEM系統中對微/奈米尺度待測目標進行高空間解析之定點電性量測與元件操作測試。
Abstract
Performing site-specific high-spatial-resolution electrical measurements and device operation tests of micro-/nano-scaled samples with FIB/SEM.
技術規格
四點或兩點量測，下針定位精度高於30nm
Technical Specification
two-probe or fou-probe measurement, probing precision is better than 30 nm
技術特色
高空間解析度定點電性分析
應用範圍
半導體元件故障分析、材料電性值分析
接受技術者具備基礎建議（設備）
FIB/SEM、微操控器、sourcemeter
接受技術者具備基礎建議（專業）
材料、物理、化學、化工
聯絡資訊
聯絡人：羅聖全 前瞻材料基磐技術組
電話：+886-3-5915296 或 Email：alexsclo@itri.org.tw
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