技術簡介
一種特氣用之氣密閥件設計與氣體偵測回饋機構進行新型硒化爐及其關鍵組件開發。
Abstract
The development of specific gas treatment apparatus with high temperature uniformity, low gas waste and leaking detection.
技術規格
一種高均溫性、製程時間短、毒性氣體使用量低、氣密閥件設計與氣體偵測回饋機構之低成本的新穎硒化/硫化設備
Technical Specification
a high temperature uniformity, low gas waste apparatus with sealing and leaking detection function.
技術特色
目前已成功開發具高強度之耐硒化腔體，以及特殊爐體之設計搭配一種特氣用之氣密閥件設計與氣體偵測回饋機構進行新型硒化爐及其關鍵組件雛型機。
應用範圍
太陽能電池、加熱設備
接受技術者具備基礎建議（設備）
具有大尺寸加熱、隔熱或基本自動化技術皆可
接受技術者具備基礎建議（專業）
具備溫度控制、氣體防護及相關專業基礎皆可
聯絡資訊
聯絡人：謝東坡 太陽光電技術組
電話：+886-6-3636816 或 Email：TP＠itri.org.tw
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