工業技術研究院

技術簡介

本技術為針對XXY對位平台PC Based 精密運動控制系統所開發之數學運算模式，用於進行工作平台之精確定位。利用PC Based數控系統整合軸控卡，開發XXY精密對位運動平台之自動化軟體，亦即利用數控系統控制微動馬達，以數學模式計算出定位資料，運用電腦數控系統控制平台移動，達成相對於標靶中心座標之三軸致動器精確對位。

Abstract

A mathematical model is developed for precise XXY-stage positioning with PC based controller. With mathematical model, movement distances of 3 motion axes, according to target position of XXY-stage, can be determined. By PC based controller, XXY-stage can be moved to right distances of 3 motion axes. XXY-stage can be precisely moved to target position.

技術規格

1.XXY運動平台架構 2.微動精密對位技術 3.XXY對位平台定位運算模式 4.電腦數位運動控制整合

Technical Specification

1.Architecture of XXY stage 2.Micro-step precision alignment technology 3.Mathematical Model for XXY Stage positioning 4.PC based digital motion control

技術特色

XXY平台是一種微距式的移載定位平台，大量使用於工業用途，經常應用於有預定位置的控制系統中。在本系統中，採用PC based數控系統以標靶為運動行程基準中心進行位置比對，再以發展出的定位運算模式處理訂位資料，運用階層控制理論執行平台移動，通過PC數控系統控制馬達執行運動，達到加工或檢測物與基準標靶的對位。

應用範圍

電子與精密機械高科技產業

接受技術者具備基礎建議（設備）

精密機械加工、設備組立、電控配線、馬達控制

接受技術者具備基礎建議（專業）

數值控制工具機原理相關基本知識

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