技術簡介
利用不同頻譜聚焦在不同的深度，配合移動掃描，可以量得物體表面形貌資訊
Abstract
none
技術規格
高度量測精度1μm
Technical Specification
none
技術特色
利用不同頻譜聚焦在不同的深度，配合移動掃描，可以量得物體表面形貌資訊
應用範圍
可應用於精密尺寸量測如機械產業、半導體、及光電產業。
接受技術者具備基礎建議（設備）
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接受技術者具備基礎建議（專業）
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聯絡資訊
聯絡人：陳俊賢 量測技術發展中心
電話：+886-3-5743718 或 Email：jim.chen@itri.org.tw
客服專線：+886-800-45-8899
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