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工業技術研究院

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技術名稱: 光學式高度量測技術

技術簡介

利用不同頻譜聚焦在不同的深度,配合移動掃描,可以量得物體表面形貌資訊

Abstract

none

技術規格

高度量測精度1μm

Technical Specification

none

技術特色

利用不同頻譜聚焦在不同的深度,配合移動掃描,可以量得物體表面形貌資訊

應用範圍

可應用於精密尺寸量測如機械產業、半導體、及光電產業。

接受技術者具備基礎建議(設備)

none

接受技術者具備基礎建議(專業)

none

技術分類 光電半導體薄膜量測技術

聯絡資訊

聯絡人:陳俊賢 量測技術發展中心

電話:+886-3-5743718 或 Email:jim.chen@itri.org.tw

客服專線:+886-800-45-8899

傳真:+886-3-5722383

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