工業技術研究院

技術簡介

利用KOH非等向性濕蝕刻技術，得到光纖陣所需之V型凹槽結構，並配合精確對準光罩之應用，有效控制側蝕量，應用於光纖陣列晶圓製程技術。

Abstract

Lising KOH anisotropic wet etching technique to obtain the V-shape structure of fiber array.This technique apply precrision alignment to control undercut effective.

技術規格

4、8、16、32、48- channels fiber arrays fiber to fiber spacing : 250+-1um

Technical Specification

4、8、16、32、48- channels fiber arrays fiber to fiber spacing : 250+-1um

技術特色

應用微機電 (MEMS)的方法，不但精確度高，且可大量生產。 　

應用範圍

用於光纖通訊應用載具之相關產品。

接受技術者具備基礎建議（設備）

微機電製程及半導體設備。

接受技術者具備基礎建議（專業）

MEMS或IC製程,化工或,機械背景人才。

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