技術簡介
利用KOH非等向性濕蝕刻技術,得到光纖陣所需之V型凹槽結構,並配合精確對準光罩之應用,有效控制側蝕量,應用於光纖陣列晶圓製程技術。
Abstract
Lising KOH anisotropic wet etching technique to obtain the V-shape structure of fiber array.This technique apply precrision alignment to control undercut effective.
技術規格
4、8、16、32、48- channels fiber arrays fiber to fiber spacing : 250+-1um
Technical Specification
4、8、16、32、48- channels fiber arrays fiber to fiber spacing : 250+-1um
技術特色
應用微機電 (MEMS)的方法,不但精確度高,且可大量生產。
應用範圍
用於光纖通訊應用載具之相關產品。
接受技術者具備基礎建議(設備)
微機電製程及半導體設備。
接受技術者具備基礎建議(專業)
MEMS或IC製程,化工或,機械背景人才。
聯絡資訊
聯絡人:陳國彰 智慧微系統科技中心
電話:+886-6-3847136 或 Email:kerwin_c@itri.org.tw
客服專線:+886-800-45-8899
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