工業技術研究院

技術簡介

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Abstract

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技術規格

1.Pressure range: 30~110 KPa 2.Resolution: 30 cm 3.Current consump. < 5 uA @1Hz 4.Element size: < 1 mm x 1mm 5.Package: 3mm x 3mm x 1.2mm

Technical Specification

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技術特色

工研院開發電容感測式壓力計具有低耗能、微型化與高解析度之特性。藉由MEMS製程來實現創新之絕對式差動電容壓力計結構體，配合此結構設計開發適應性溫度補償電路、低雜訊電容訊號感測電路與數位濾波電路，可達到產品具智慧化校正與補償的功能，並提升封裝後產品之良率。

應用範圍

手機、平板、穿戴式裝置、汽車導航、胎壓監測…等

接受技術者具備基礎建議（設備）

元件設計模擬軟體工具

接受技術者具備基礎建議（專業）

電子電路、半導體製程、微機電、機械相關背景

聯絡資訊