技術簡介
提出一種表面即時監控及氣體噴嘴的架構，可以監控待測物表面，並透過相關演算法計算表面特性。
Abstract
none
技術規格
(1)量測範圍>500um
(2)量測解析<0.5um
Technical Specification
none
技術特色
提出一種表面即時監控及氣體噴嘴的架構，可以監控待測物表面，並透過相關演算法計算表面特性。
應用範圍
半導體產業
接受技術者具備基礎建議（設備）
光學取像模組
接受技術者具備基礎建議（專業）
光學相關背景
聯絡資訊
聯絡人：卓嘉弘 量測技術發展中心
電話：+886-3-5743817 或 Email：Gabo_Cho@itri.org.tw
客服專線：+886-800-45-8899
傳真：none