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工業技術研究院

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技術名稱: 表面量測技術與方法

技術簡介

提出一種表面即時監控及氣體噴嘴的架構,可以監控待測物表面,並透過相關演算法計算表面特性。

Abstract

none

技術規格

(1)量測範圍>500um (2)量測解析<0.5um

Technical Specification

none

技術特色

提出一種表面即時監控及氣體噴嘴的架構,可以監控待測物表面,並透過相關演算法計算表面特性。

應用範圍

半導體產業

接受技術者具備基礎建議(設備)

光學取像模組

接受技術者具備基礎建議(專業)

光學相關背景

技術分類 先進檢測與感測儀器- 檢測/設備技術

聯絡資訊

聯絡人:卓嘉弘 量測技術發展中心

電話:+886-3-5743817 或 Email:Gabo_Cho@itri.org.tw

客服專線:+886-800-45-8899

傳真:none

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