技術簡介
藉由高次諧波極紫外線經奈米結構樣品散射之空間極強度分布資訊，比對理論模擬資料庫，得到三維結構資訊‧
Abstract
none
技術規格
三維奈米結構量測解析度達 1奈米
Technical Specification
none
技術特色
藉由高次諧波極紫外線經奈米結構樣品散射之空間極強度分布資訊，比對理論模擬資料庫，得到三維結構資訊‧
應用範圍
三維奈米結構樣品量測
接受技術者具備基礎建議（設備）
高次諧波極紫外線光源集散射儀實驗模組
接受技術者具備基礎建議（專業）
先進半導體製程檢測專長
聯絡資訊
聯絡人：顧逸霞 量測技術發展中心
電話：+886-3-5732103 或 Email：yku@itri.org.tw
客服專線：+886-800-45-8899
傳真：none