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工業技術研究院

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技術名稱: 極紫外線散射數

技術簡介

藉由高次諧波極紫外線經奈米結構樣品散射之空間極強度分布資訊,比對理論模擬資料庫,得到三維結構資訊‧

Abstract

none

技術規格

三維奈米結構量測解析度達 1奈米

Technical Specification

none

技術特色

藉由高次諧波極紫外線經奈米結構樣品散射之空間極強度分布資訊,比對理論模擬資料庫,得到三維結構資訊‧

應用範圍

三維奈米結構樣品量測

接受技術者具備基礎建議(設備)

高次諧波極紫外線光源集散射儀實驗模組

接受技術者具備基礎建議(專業)

先進半導體製程檢測專長

技術分類 先進檢測與感測儀器- 檢測/設備技術

聯絡資訊

聯絡人:顧逸霞 量測技術發展中心

電話:+886-3-5732103 或 Email:yku@itri.org.tw

客服專線:+886-800-45-8899

傳真:none

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