技術簡介
本技術利用渦電流雙探頭的電磁波平行樣品特性，可非接觸量測樣品避免損傷，且有抗震特性可應用於製程R2R線上檢測，即時回饋製程參數調整。
Abstract
none
技術規格
1. metal mesh片電阻量測範圍：3~ 100Ω/□
2. metal mesh片電阻量測CV≦3% (@ 15 Ω/□)
Technical Specification
none
技術特色
本技術利用渦電流雙探頭的電磁波平行樣品特性，可非接觸量測樣品避免損傷，且有抗震特性可應用於製程R2R線上檢測，即時回饋製程參數調整。
應用範圍
導電薄膜、metal mesh片電阻R2R檢測
接受技術者具備基礎建議（設備）
捲對捲測試電控機構
接受技術者具備基礎建議（專業）
具電路設計及人機軟體設計經驗
聯絡資訊
聯絡人：涂鐘範 量測技術發展中心
電話：+886-3-5743880 或 Email：CFTu@itri.org.tw
客服專線：+886-800-45-8899
傳真：none