工業技術研究院

技術簡介

雷射誘發週期表面微結構因使用的雷射能量低，成型速度快，為近期備受矚目的技術。建置快速掃描表面微結構掃描加工模組，透過雷射在材料表面快速掃描，迅速產生雷射誘發結構，同時建立雷射能量監測系統，已穩定雷射誘發結構的生成品質。

Abstract

Laser induced periodic surface structure (LIPSS) using low fluence and rapid forming is attended. In this report, a laser scanning module is built for the LIPSS process which induced the micro or nanostructure rapidly on the material. At the same time, a laser energy monitoring system is established to stabilize generation quality of the laser-induced structure.

技術規格

表面結構≦1 μm，掃描速度≧500 mm/s

Technical Specification

none

技術特色

雷射誘發週期表面微結構因使用的雷射能量低，成型速度快，為近期備受矚目的技術。建置快速掃描表面微結構掃描加工模組，透過雷射在材料表面快速掃描，迅速產生雷射誘發結構，同時建立雷射能量監測系統，已穩定雷射誘發結構的生成品質。

應用範圍

模具，醫材、半導體封裝

接受技術者具備基礎建議（設備）

超快雷射源/雷射掃描光路模組/精密線性平台

接受技術者具備基礎建議（專業）

光學、製程、材料、機械、光機電整合

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