工業技術研究院

技術簡介

以產業化研發/試量產環境為營運主軸,建置微感測器材料、結構、製程特性之整合模擬測試系統,提供工業感測器、物聯網相關、光學檢測等感測器製作所需之專業技術服務，藉試量產實驗室之運作，加速微感測器產業之發展，創造全新感知運用產業價值鏈。

Abstract

none

技術規格

■ 薄膜感測器研發試量產平台；低應力複合薄膜沈積技術 (stress< 15Mpa) ■ 慣性元件研發試量產平台：矽深蝕刻技術(< 1 deg. @>400um)、Anodic boding technology 、Non notch dry etch (roughness< 50nm)

Technical Specification

none

技術特色

以研發、快速試製與小量生產為定位，提供微型感測器不同階段所需製程之解決方案，利基型產品可藉由本平台量產出貨；量大之產品亦可協助導入國內大型代工廠量產。

應用範圍

‘MEMS Microphone、Accelerometer / Vibration sensor、Gas sensor

接受技術者具備基礎建議（設備）

模組化、機電整合

接受技術者具備基礎建議（專業）

微機電元件、光學元件、醫材、感測器元件設計

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