技術簡介
透過創新之MEMS疊層感測器製程平台,開發專利之多功能環境感測器, 整合壓力、溫度、濕度、氣體感測器陣列於單一晶片,採均溫高絕熱之微加熱器設計,提升系統之電熱轉換效能並優化感測靈敏度,同時研發專利之自我補償校正演算法,修正壓力、濕度及氣體感測濃度。結合氣體感測陣列與機器學習,辨識室內環境異味,提供即時資訊與警示。
Abstract
none
技術規格
■壓力偵測範圍:30-110 kPa
■溫度偵測範圍:-40-85°C
■濕度偵測範圍:5%-95%RH
■CO濃度偵測範圍:0.1-200ppm
■TVOC濃度偵測範圍:0-3000ppb
Technical Specification
none
技術特色
整合抗熱應力高均溫MEMS微型加熱器、感測材料及加載技術、專利之可程式溫控及感測電路晶片,可應用於智慧居家及個人裝置。
應用範圍
個人穿戴及智慧家庭應用、多功能環境感測晶片、環境安全監測應用
接受技術者具備基礎建議(設備)
MEMS元件設計與IC設計模擬軟體工具,以及氣體、溫度、濕度、壓力測試設備等
接受技術者具備基礎建議(專業)
IC設計、半導體製程、微機電、機械相關背景。
聯絡資訊
聯絡人:陳國彰 智慧微系統科技中心
電話:47136 或 Email:kerwin_c@itri.org.tw
客服專線:+886-800-45-8899
傳真:none