工業技術研究院

技術簡介

工研院開發之振動感測器，感測器元件採用 MEMS 技術設計/製作，具備 2kHz 感測頻寬，數位式資料輸出，IP68 等級之金屬封裝等工業應用特點。應用上，整合時域/頻域訊號整合分析系統， 與振動訊號估測演算法之後端分析工具，提供客戶監控工具機設備在加工過程中所產生 的振動，以提升加工穩定度、精度並增加設備之使用效率。

Abstract

none

技術規格

■Operation Temperature: –20°C to +85°C ■Shock Limit: 10,000 g ■Bandwidth: DC~ 2kHz，Noise < 50ug/rtHz

Technical Specification

none

技術特色

具專利性結構設計與類比前端讀取電路與數位濾波校正電路，結合IP68等級之防水/塵/油污金屬封裝，可滿足眾多工業應用之導入。

應用範圍

可應用於主軸、滾珠螺桿、滑軌、工具機、高階CNC、鑽孔機、多軸機器人等設備之振動偵測。

接受技術者具備基礎建議（設備）

元件與電路設計模擬軟體工具。

接受技術者具備基礎建議（專業）

半導體、材料、物理及電子等相關背景

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