技術簡介
功率放大器模組技術可應用於電容性負載,如真空電漿激發,應用於電漿表面改質或清潔製程
Abstract
This power amplifer can be used for capacitive loading, such as plasma ignition for the surface modification or cleaning.
技術規格
1. 功率輸出:max 1KW 2. 頻率: 20Khz~250Khz
Technical Specification
1. 功率輸出:max 1KW 2. 頻率: 20Khz~250Khz
技術特色
全橋式MOSFET併聯技術,搭配DSP控制,可以輸出高頻交流訊號,驅動電容性負載
應用範圍
真空電漿、大氣電漿之相關設備
接受技術者具備基礎建議(設備)
示波器、功率量測器、訊號產生器
接受技術者具備基礎建議(專業)
電機、控制
聯絡資訊
聯絡人:林東穎 L200
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