技術簡介
採用可調式感測器設計製作與補償電路訊號處理技術,並通過iNEMI FoS抗腐蝕驗證,滿足PCB產業應用特點。在資料輸出上,整合類比與數位資料傳輸,可提供即時濕蝕刻製程關鍵參數調控,進行製程優化。
Abstract
The pressure sensing technology adopts adjustable transducer design and temperature compensation circuit design, which also has passed iNEMI FoS anti-corrosion verification to meet the PCB industry applications. The integration both of analog and digital data output can provide real-time wet etching process pressure parameter control and process optimization further.
技術規格
"‧壓力範圍:1~5bar
‧解析度:0.005 bar
‧準確度:±2% of FS
‧訊號輸出:類比輸出、數位輸出"
Technical Specification
none
技術特色
採用可調式感測器設計製作與補償電路訊號處理技術,並通過iNEMI FoS抗腐蝕驗證,滿足PCB產業應用特點。在資料輸出上,整合類比與數位資料傳輸,可提供即時濕蝕刻製程關鍵參數調控,進行製程優化。
應用範圍
PCB產業之蝕刻藥液噴壓、水洗製程、顯影液噴壓
接受技術者具備基礎建議(設備)
壓力校正儀、Power generator、示波器、三用電表
接受技術者具備基礎建議(專業)
具機械、電機、電子、資訊相關專長之人員
聯絡資訊
聯絡人:陳國彰 執行長室
電話:+886-6-3847136 或 Email:kerwin_c@itri.org.tw
客服專線:+886-800-45-8899
傳真:+886-6-3847294