工業技術研究院

技術簡介

採用可調式感測器設計製作與補償電路訊號處理技術，並通過iNEMI FoS抗腐蝕驗證，滿足PCB產業應用特點。在資料輸出上，整合類比與數位資料傳輸，可提供即時濕蝕刻製程關鍵參數調控，進行製程優化。

Abstract

The pressure sensing technology adopts adjustable transducer design and temperature compensation circuit design, which also has passed iNEMI FoS anti-corrosion verification to meet the PCB industry applications. The integration both of analog and digital data output can provide real-time wet etching process pressure parameter control and process optimization further.

技術規格

"‧壓力範圍：1~5bar ‧解析度：0.005 bar ‧準確度：±2％ of FS ‧訊號輸出：類比輸出、數位輸出"

Technical Specification

none

技術特色

採用可調式感測器設計製作與補償電路訊號處理技術，並通過iNEMI FoS抗腐蝕驗證，滿足PCB產業應用特點。在資料輸出上，整合類比與數位資料傳輸，可提供即時濕蝕刻製程關鍵參數調控，進行製程優化。

應用範圍

PCB產業之蝕刻藥液噴壓、水洗製程、顯影液噴壓

接受技術者具備基礎建議（設備）

壓力校正儀、Power generator、示波器、三用電表

接受技術者具備基礎建議（專業）

具機械、電機、電子、資訊相關專長之人員

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