工業技術研究院

技術簡介

主動式五軸磁浮軸承驅控技術，對驅動、控制、感測電路單元實現韌體整合，可動態觀測主軸軌跡、進行FFT頻譜分析、控制器增益規劃、偏心力控制、主動軌跡過大保護等，負載測試時符合ISO-14839-2國際振動規範。磁浮主軸懸浮後為非接觸式、軸承無磨耗、無需潤滑油，乾淨無雜質的優點可廣泛應用在半導體、高純度、生物科技、奈米流體或食品等相關特殊液體輸送。

Abstract

Active five-axis magnetic bearing drive and control technology, which realizes firmware integration of drive, control, and sensing circuit units. It can dynamically observe spindle trajectory, perform FFT spectrum analysis, controller gain scheduling, eccentric force control, and Over-trajectory protection, etc. The load test complies with the ISO-14839-2 international vibration specification. After the maglev spindle is suspended, it is non-contact, bearing no wear and no lubricating oil. The advantages of being clean and free of impurities can be widely used in specific liquid transportation, such as semiconductor, high purity, biotechnology, Nano fluid or food.

技術規格

額定功率：420W；額定輸入電源：DC140V；電流輸出通道數：10ch；額定輸出電流(每通道)：3A(連續)、6A(峰值)；類比數位轉換(ADC)通道數：32通道；類比數位轉換(ADC)解析度：12bits；類比數位轉換(ADC)電壓範圍：0~3V；人機介面SCI通訊baud rate：750,000。FFT頻譜分析範圍:0~300Hz；動態剛性與靈敏度鑑別範圍:1~1kHz；控制器增益規劃範圍: 0~600Hz；偏心力控制範圍:250Hz~600Hz。

Technical Specification

Rated power: 420W; Rated input power: DC140V; Number of current output channels: 10ch; Rated output current (per channel): 3A (continuous), 6A (peak value); Analog to digital conversion (ADC) channel number: 32 channels; Analog to digital conversion (ADC) resolution: 12bits; Analog to digital conversion (ADC) voltage range: 0~3V; Human-machine interface SCI communication baud rate: 750,000. FFT spectrum analysis range: 0~300Hz; Dynamic stiffness and sensitivity identification range: 1~1kHz; Controller gain scheduling range: 0~600Hz; Eccentric force control range: 250Hz~600Hz.

技術特色

1.非接觸式、無機械摩擦、無油化。 2.高精度電感型位置感測與多軸同步控制。 3.動態特性鑑別、數據分析與控制器調校。 4.高速人機介面通訊與監測。

應用範圍

應用五軸磁浮軸承控制之半導體、高純度、生物科技、奈米流體或食品等相關特殊液體輸送。

接受技術者具備基礎建議（設備）

須兼備馬達和磁浮軸承技術基礎。

接受技術者具備基礎建議（專業）

須具備馬達專業並有磁浮軸承開發之實務基礎。

聯絡資訊