技術簡介
發展超精密加工智能服務技術之即時研磨製程監控系統及數據可視化介面技術,有效降低人為監控誤判,提高設備的附加價值
Abstract
Develop the real-time grinding process monitoring system and data visualization interface technology of ultra-precision machining intelligent service technology to effectively reduce the misjudgment of human monitoring and increase the added value of the equipment.
技術規格
於輪磨機上安裝SECS/GEM通訊模組(SMB),存取設備資料,數據傳輸速率>=1 sec,即時存取與上拋設備狀態參數≧3種,功能參數顯示≧5組,加工參數分析≧3種。
Technical Specification
Install the SECS/GEM communication module (SMB) on the grinder. The app take data transmission rate ≧ 1 serie / sec, real-time upload and save grinder status parameters ≧ 3 types, function parameter display ≧5 groups, processing parameter analysis ≧ 3 types.
技術特色
發展超精密加工智能服務技術之即時研磨製程監控系統及數據可視化介面技術,有效降低人為監控誤判,提高設備的附加價值
應用範圍
晶圓磨削機
接受技術者具備基礎建議(設備)
輪磨設備SECS/GEM通訊模組
接受技術者具備基礎建議(專業)
1.具基礎磨削製程相關知識
2.設備通訊架構相關知識
3.系統整合測試
聯絡資訊
聯絡人:林玉堃 半導體設備技術組
電話:+886-3-5915893 或 Email:SeraphYKLin@itri.org.tw
客服專線:+886-800-45-8899
傳真:+886-3-5820252