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工業技術研究院

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技術名稱: 雷射設備智慧應用服務模組技術

技術簡介

建立光路品質轉譯量化模組,可量化光束品質,並將光學參數圖像化;開發Laser Opt. APP並搭配建立等聚焦光學模組與光路徑補償模組,進行精度補償優化,提升光學精度品質。

Abstract

Establish laser beam quality translation quantization module, which can quantify the beam quality and visualize optical parameters; develop Laser Opt. APP and establish an isofocus optical module and optical path compensation module to optimize the precision compensation and improve the quality of optical accuracy.

技術規格

(a)空間解析度≦6μm (b)能量密度解析度≦0.5%

Technical Specification

技術特色

開發電子製程設備之智慧服務應用模組,提供雷射製程設備開發量化轉譯、即時監控、狀態預測、自主優化及設備補償等應用服務模組。

應用範圍

雷射加工設備

接受技術者具備基礎建議(設備)

雷射加工設備 光路品質轉譯量化模組模組 Laser Opt. APP

接受技術者具備基礎建議(專業)

雷射製程、電機、資訊

技術分類 雷射應用

聯絡資訊

聯絡人:李炫璋 雷射應用技術組

電話:+886-6-6939029 或 Email:HCLee@itri.org.tw

客服專線:+886-800-45-8899

傳真:+886-6-6939056