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工業技術研究院

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技術名稱: 研拋墊磨耗估測模組

技術簡介

AI輔助研拋墊磨耗估測技術,擷取機器人進行研磨拋光工序時研拋墊磨削的聲音訊號,藉由訊號分析與AI手法對其進行即時狀態解析,以便適時更換,維持加工品質與效率

Abstract

The sound and vibration signals are captured by microphones and accelerators during the grinding pad is under grinding or polishing process. Signal preprocessing methods and AI algorithms are used to monitor the states of grinding pad online. In order to replace the grinding pad in time for maintaining the processing quality and efficiency.

技術規格

‧加工設備整合主動力量控制機構模組及氣動偏心拋光機,透過麥克風與加速規收集訊號 ‧主動力量控制機構模組:力量感測±0.1N,位置感知±0.1mm ‧氣動偏心拋光機:轉速12,000rpm ‧麥克風:靈敏度94dB SPL@1kHz ‧加速規:靈敏度100mV/g

Technical Specification

‧The experimental device is the integration of the active contact flange and the pneumatic polisher. Moreover, the microphone and the accelerometer are used to respectively acquire sound and vibration signals. ‧Active contact flange, Max. Force (pull/push) : 100N, Stroke : 35mm. ‧Pneumatic polisher, RPM : 12,000. - Microphone, SN ratio : 94dB SPL@1kHz . - Accelerator, Sensitivity : 100mV/g.

技術特色

研拋墊磨耗估測模組用以即時監測研拋墊狀態,以便適時更換確保研拋品質之恆定

應用範圍

製程品質改善

接受技術者具備基礎建議(設備)

‧軟體:機械手臂相關控制軟體 ‧硬體:機械手臂相關控制硬體

接受技術者具備基礎建議(專業)

金屬加工產業

技術分類 機械自動化

聯絡資訊

聯絡人:蔡銘浩 半導體設備技術組

電話:+886-3-5914005 或 Email:TinoTsai@itri.org.tw

客服專線:+886-800-45-8899

傳真:+886-3-5820252