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工業技術研究院

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機械工業雜誌

377期2014年8月號

出版日期:2014/08/04

正方形 Icon 智慧機械人技術專輯

MOCVD噴灑頭式反應腔性能與氮化鎵薄膜沉積化學反應場之數值模擬

傅武雄、鄭泗東、王威翔、許智勝、陳柏霖

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