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工業技術研究院

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機械工業雜誌

338期2011年5月號

出版日期:2011/05/04

正方形 Icon 光電產業設備技術專輯

MOCVD反應室內基板旋轉對流場之影響研究

王慶鈞、黃智勇、陳建志、簡榮楨、陳志勇、曾力瑋、王京璽、劉耀先

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