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工業技術研究院

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機械工業雜誌

338期2011年5月號

出版日期:2011/05/04

正方形 Icon 光電產業設備技術專輯

超高頻PECVD成長微晶矽薄膜

董福慶、吳佩珊、金崇碩、張翼、黃金花

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