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工業技術研究院

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機械工業雜誌

330期2010年9月號

出版日期:2010/09/10

正方形 Icon 微/奈米製造技術專輯

應用全像干涉微影技術製作週期與準週期性微奈米結構

林建宏、賴玉蝶、杜名碧、巫晟逸、黃郁迪、梁文評、林宏彝、張天立、周大鑫、許佳振

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