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工業技術研究院

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機械工業雜誌

328期2010年7月號

出版日期:2010/07/05

正方形 Icon 智慧系統工程技術專輯

玻璃基板主動式氣浮平台設計與智慧型控制

江茂雄、林浩庭、陳(田井)谷、黃峻緯

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