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工業技術研究院

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機械工業雜誌

326期2010年5月號

出版日期:2010/05/10

正方形 Icon 光電產業設備專輯

高密度電漿源的模擬與量測分析

董福慶、吳佩珊、陳家銘、林重勳、魏大欽、趙修武、吳慶輝

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