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工業技術研究院

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機械工業雜誌

348期2012年3月號

出版日期:2012/03/07

正方形 Icon 工具機技術專輯

新型熱熔膠拋光墊的研製及其對單晶矽之拋光研究

蔡松霖、顏炳華

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