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工業技術研究院

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工業技術與資訊月刊

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虞華年引領臺灣半導體產業站上世界舞台

陳玉鳳

1990年代是臺灣半導體開始茁壯的年代,虞華年在半導體產業所累積的深厚經驗及傑出研發成果,成為臺灣半導體產業所倚重的重要力量。虞華年全心貢獻於半導體技術,尤其是製程方面的研究,他啟動了無數創新,對半導體產業造成深遠的影響。


1948年,第一顆電晶體公諸於世,這是半導體產業的開端。在半導體技術初萌芽的階段,虞華年院士在1957這一年進入了IBM研究中心,此後在數十餘年的研究時光中,他啟動了無數創新,所締造的成果對半導體產業造成深遠的影響。
在IBM研究中心數十年間,虞華年主要從事前瞻技術的研究與開發,實現無數技術創新,其中最具影響力的成果,包括一微米及次微米超大型積體電路技術、前瞻性雙極晶體元件與技術、IBM370型電腦主機CPU微處理器單晶片及高速靜態記憶體和高速動態記憶體等。其中每一項技術研發成果都決定此後半導體產業走向。

出任工研院職務 協助擘畫產業藍圖

於是,在臺灣半導體開始茁壯的1990年代,虞華年在半導體產業所累積的深厚經驗及傑出研發成果,成為臺灣半導體產業所能倚重的一股重要力量。工研院與虞華年的深遠關係始於1970年代晚期,當時他出任電子技術顧問委員會(Technical Advisory Committee; TAC)委員,協助工研院發展半導體及電子相關科技,後來又陸續接任工研院資深顧問,以及工研院前瞻技術指導委員會主席等。他的寶貴意見及無私貢獻,成為推動臺灣高科技產業迅速茁壯的一股強大力量。

虞華年的研發創新推動了半導體產業的發展,然而,在那個多數人不知半導體為何物的年代,進入美國伊利諾大學電子工程系就讀的虞華年,也無法預期他的一生就再也無法和半導體分開。

1929年出生於上海的虞華年,在國共混戰、世局動盪中離開中國大陸,原本欲就讀台灣大學,但在家人擔憂戰火蔓延下,最終選擇前往美國伊利諾州大學就讀,於大學期間因為研讀電腦資訊科學的關係而開始接觸半導體技術。

在1950年代,當時的電腦主要仍是採用真空管,但也開始出現電晶體的使用,且伊利諾大學總是能取得當時最先進的電晶體,於是,一路從大學、碩士鑽研至博士階段,虞華年的興趣越來越濃厚,且在一次夏季課程中師承許多諾貝爾獎得主的經驗,更讓他益發相信,「半導體的發展可以改變世界。」

任職IBM研究中心 屢次突破半導體製程技術

於是,在1958年獲得伊利諾電子工程學博士後,在各方的邀約下,他選擇進入IBM研究中心,在此浸淫研究35年。「在IBM研究中心,研究題目是不設限的,你可以自由發揮,」於是,虞華年全心貢獻於半導體技術,尤其是製程方面的研究,「非常辛苦、非常具挑戰性,我幾乎是廢寢忘食地在做研究。」在這個鼓勵創新的環境中,虞華年及其團隊從一開始鎖定鍺(Ge)半導體的研究,之後轉向開發矽(Si)半導體技術,始終站在全球頂尖的位置。

例如,在他人皆說不可能的情況下,虞華年及IBM團隊在1970年代開發出1微米(Micron)的矽半導體製程技術,一舉將製程由2微米推進至1微米。IBM更在1978開發完成0.5 Micron技術,並將研究成果以7篇論文的形式正式發表於IEEE Device期刊上。

此一突破性成果公諸於世後,產業界深受震撼。此後,IBM更一路將製程技術推進至0.25 微米,在這些創新突破中,虞華年始終扮演重要角色,總計發表80餘篇論文。也因此,在IBM內部,他曾獲得傑出發明獎、技術成就獎、發明專利獎等多種獎項;在外部,他則獲得IEEE Jack Morton 傑出成就獎、美洲中國工程師學會傑出成就獎、IEEE終身會士、西安交通大學名譽教授、國際歐亞科學院院士、中央研究院院士、美國亞裔工程師年度獎(AAEOY)及廈門大學名譽教授(2009)等。

與臺灣產官學研界頻繁互動 貢獻所學

如此重量級的半導體產業先進,自然成為臺灣半導體產業發展的請益對象,對於來自臺灣的多方邀約,虞華年總是傾力相助。1970年代,臺灣當時財政拮倨,然而在時任經濟部長孫運璿認為半導體是臺灣產業未來的堅持下,政府仍撥出1,000萬美元經費,就此開啟臺灣半導體產業發展的先頁,在孫運璿的號召下,透過產業大老潘文淵所推動的「工研院美洲技術顧問團(TAC)」,虞華年開始頻繁與臺灣產官學研界互動。

他在工研院各種職務上協助工研院擘畫臺灣科技產業藍圖,至今仍是工研院前瞻技術指導委員會榮譽主席及資深顧問。此外,他也曾服務於我國政府科技機構,包括國科會顧問、行政院科技小組技術審查會委員及執行秘書、經濟部次微米計畫指導委員會委員、資訊工業策進會董事、高速電腦中心IBM監督委員會成員等,對臺灣科技產業發展貢獻卓著。

已80餘高齡,但虞華年至今仍常往返美臺,為臺灣產業發展提供建言,被問及如何能如此精神矍鑠,他坦言,「秘訣無他,就是常保好奇心。」這也是他提供予年輕一代的忠言,唯有學習不倦,才能有所創新。

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