工業技術研究院

技術簡介

雷射清潔技術是透過雷射達成高價探針卡之清潔，以本團隊研發之雷射系統，達成探針卡雷射清潔。

Abstract

Laser cleaning technology is to achieve high-priced probe card cleaning through laser, and the laser system developed by the team to achieve probe card laser cleaning.

技術規格

Beam shape (Fit to Top-Hat)≧ 85% Pulse Energy Difference≦ 5%

Technical Specification

Beam shape (Fit to Top-Hat)≧ 85% Pulse Energy Difference≦ 5%

技術特色

已完成雷射清潔系統開發，包含雷射、光路設計、機構、電控、軟體、製程等，可進行各類探針卡之雷射清潔測試，提供業者完整解決方案。

應用範圍

1.Probe Card 2.Socket

接受技術者具備基礎建議（設備）

高能雷射源，線性平台

接受技術者具備基礎建議（專業）

光學、製程、材料、機械、光機電整合

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